AR-S300R-300
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Wafer Handling概要（Overview）
Wafer Atmosphere Robots Type: Revers Single Arm Wafer Size: ～300mm A(B)-axis (mm): 510 θ-axis(°): 330 Z-axis (mm): 300 Transport weight (kg): 3
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検査、保証、鑑定、ロジスティクス
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