説明
説明なし構成
CD Performance: -Static accuracy: 3σ (%) < 1.1% -Dynamic accuracy: 1.2nm (3σ) -Throughput (9 sites): 14 wph -Minimum pattern spacing (dense configuration): 40nm Depth Performance: -Static accuracy 3σ (%) < 0.4% -Dynamic accuracy: 0.5nm (3σ) -Minimum pattern spacing (dense configuration): 30nm 3D Imaging: Max scan size 49X49µm Noise 0.1nm RMSOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
BRUKER
INSIGHT 3DAFM
検証済み
カテゴリ
AFM
最終検証： 16日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
118263
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2009
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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CD Performance: -Static accuracy: 3σ (%) < 1.1% -Dynamic accuracy: 1.2nm (3σ) -Throughput (9 sites): 14 wph -Minimum pattern spacing (dense configuration): 40nm Depth Performance: -Static accuracy 3σ (%) < 0.4% -Dynamic accuracy: 0.5nm (3σ) -Minimum pattern spacing (dense configuration): 30nm 3D Imaging: Max scan size 49X49µm Noise 0.1nm RMSOEMモデルの説明
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