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HIO process Asset Description: GASONICS SODIUM REMOVAL Software Version: VER 4.0 CIM: SECS Process: HIO Main System MAIN TOOL 1 OK Factory Interface SMIF 2 OK Options System MW GENERATOR 2 OK Options System RF GENERATOR 2 OK EBARA DRY PUMPS 2 OK MAIN WALLBOX 1 OK CHILLER 2 OKOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Ashers / Plasma Cleaner
最終検証： 30日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
105056
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
1999
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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LAM RESEARCH / NOVELLUS / GASONICS
PEP 4800DL
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不明
製品ID：
105056
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
1999
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HIO process Asset Description: GASONICS SODIUM REMOVAL Software Version: VER 4.0 CIM: SECS Process: HIO Main System MAIN TOOL 1 OK Factory Interface SMIF 2 OK Options System MW GENERATOR 2 OK Options System RF GENERATOR 2 OK EBARA DRY PUMPS 2 OK MAIN WALLBOX 1 OK CHILLER 2 OKOEMモデルの説明
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