UA-5200A
概要(Overview)
UV/ozone asher, batch, 30 wafers per pass (2 chambers), 55 wafers per hour, 8-inch capable
現在の掲載品
3
サービス
検査、保証、鑑定、ロジスティクス
UV/ozone asher, batch, 30 wafers per pass (2 chambers), 55 wafers per hour, 8-inch capable
3
検査、保証、鑑定、ロジスティクス