UNA-2200
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Ashers概要（Overview）
Ulvac: UNA 2200 asher, two-chamber, microwave downstream plus RIE, 50 wafers per hour, 8-inch capable.
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検査、保証、鑑定、ロジスティクス
Ulvac: UNA 2200 asher, two-chamber, microwave downstream plus RIE, 50 wafers per hour, 8-inch capable.
2
検査、保証、鑑定、ロジスティクス
