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VeritySEM 5i

カテゴリ
CD-SEM
概要(Overview)

in-line 3D CD SEM metrology system for volume production of advanced 3D devices. Proprietary electron-filtering technology for high-aspect-ratio imaging, coupled with high resolution and tilted electron beam enable in-line 3D metrology

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サービス

検査、保証、鑑定、ロジスティクス

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