WS-650-15
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Coater Only概要（Overview）
The Laurell WS-650-15 Spin Coater is compact and packed with advanced features. This 650-series coater system will accommodate up to ø300mm wafers and 9" × 9" (229mm × 229mm) substrates, and features a maximum rotational speed of 12,000 RPM (based on a ø100mm silicon wafer).
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