説明
Photoresist Spin Coater for max 200mm substrates構成
spin coater with GYRSET system for better uniformity and lower resin consumption Quick exchange Gyrset motorized and programmable dispense arm max 200mm wafer or 6"x6" square substrate stainless base cabinet Maximum 5000 rpm/sec acceleration motorized dispense arm multiple dispense capability for up to 2 photoresist Cybor 512 power supply with 505 controller (will control 1-2 pumps) 1 Cybor 5126C pump resist nozzle autoclean cartridge dispenseOEMモデルの説明
Spin Coaterドキュメント
ドキュメントなし
SUSS MicroTec / KARL SUSS
RC8 MS3
検証済み
カテゴリ
Coaters & Developers
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
73197
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
不明
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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不明
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Photoresist Spin Coater for max 200mm substrates構成
spin coater with GYRSET system for better uniformity and lower resin consumption Quick exchange Gyrset motorized and programmable dispense arm max 200mm wafer or 6"x6" square substrate stainless base cabinet Maximum 5000 rpm/sec acceleration motorized dispense arm multiple dispense capability for up to 2 photoresist Cybor 512 power supply with 505 controller (will control 1-2 pumps) 1 Cybor 5126C pump resist nozzle autoclean cartridge dispenseOEMモデルの説明
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