説明
説明なし構成
SVG Rite Track 8826-28-36 88 Series Dual Track Photoresist Coater and Developer. Fully automated system designed to uniformly coat wafers. Configuration - Track 1: Elevator, Robot, Spinner, Robot, Hot Plate, Robot, Elevator. Track 2: Elevator, Robot, Hot Plate, Robot, Chill Plate, Robot, Spinner, Robot, Elevator. Controls - SVG-8826 SMC/8836HPO Coater, RT 8828/8836 HPO Developer, Two Rite Track digital temperature controllers TC1000. Does not include photoresist pumps or developer tanks.OEMモデルの説明
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ドキュメントなし
RITE TRACK / ASML / SVG
8826
検証済み
カテゴリ
Coaters & Developers
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
15024
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
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8826
検証済み
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Coaters & Developers
最終検証： 60日以上前
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不明
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15024
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不明
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SVG Rite Track 8826-28-36 88 Series Dual Track Photoresist Coater and Developer. Fully automated system designed to uniformly coat wafers. Configuration - Track 1: Elevator, Robot, Spinner, Robot, Hot Plate, Robot, Elevator. Track 2: Elevator, Robot, Hot Plate, Robot, Chill Plate, Robot, Spinner, Robot, Elevator. Controls - SVG-8826 SMC/8836HPO Coater, RT 8828/8836 HPO Developer, Two Rite Track digital temperature controllers TC1000. Does not include photoresist pumps or developer tanks.OEMモデルの説明
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