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説明
12-inch wafer plasma reaction chamber Missing parts- No構成
Item Configurations Chamber DPS II RF system Bias generator v Source generator v Bias match v Source match v HV module v Vacuum system Turbo pump v ISO valve v Pumping line v Dual Gas Feed system Gas line v ISO valve v EPD system Eye-D controller x Electric system AC distribute box v DC power supply v Other Heater pad & ring v Source inner coil v Swap kits (9pcs) vOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
108666
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2007
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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APPLIED MATERIALS (AMAT)
CENTURA DPS 2
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Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
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不明
製品ID：
108666
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
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