説明
De-installed Equipment usage and function description 12-inch wafer plasma reaction chambers Missing parts No構成
Item Configuration Chamber DPSII RF System Bias generator V Source generator V bias match V HV module V Vacuum system Turbo pump V ISO valve V Pumping Line V Dual Gas feed system Gas line V ISO valve V EPD system Eye-D controller X Electric system AC distribute V DC power supply V Other Heater pad & ring V Source inner coil V Swap kits (9 pcs) VOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
APPLIED MATERIALS (AMAT)
DPS II AE
検証済み
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
Deinstalled
製品ID：
109727
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2007
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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DPS II AE
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
Deinstalled
製品ID：
109727
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2007
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