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Primo AD-RIE-e

カテゴリ
Dry / Plasma Etch
概要(Overview)

Primo AD-RIE-e is configured with step-by-step temperature control 4-zone dynamic ESC, which helps improve etch uniformity and selectivity with wider process window.

現在の掲載品

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サービス

検査、保証、鑑定、ロジスティクス

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