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Process: Vapor HF Etching構成
Excalibur ISR Main System: FSI EXCALIBUR ISR 1OEMモデルの説明
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TEL / FSI
EXCALIBUR
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
105074
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
1994
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