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説明
Etch構成
ECL54 PM3: 2MHZ GENRATOR 660-002295-002 RF GENRATOR AC Power BoX 685-002302-002 VIOP BOARD 810-099175-013 60MHZ GENRATOR 660-034419-013 Flex 45 MATCH 853-040482-301 27MHZ GENRATOR 660-002294-100 DC POWER SUPPLY 28V HUB 660-035920-001 LAM CPU Board 605-048878-001 DC power supply 660-041927-001 Anafaze Board 778-900046-403 TGV Drive Board 676-900870-001 TGV motor 676-305221-001 VME Board 810-707183-011 TCP Cool Plate 715-017891-003 He controller 797-800733-001 TMP CONTROLLER 3620-00756OEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
117838
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2006
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
LAM RESEARCH CORPORATION
2300 EXELAN FLEX45
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
117838
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2006
Have Additional Questions?
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Available
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Available
Transaction Insured by Moov
Available
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Available
説明
Etch構成
ECL54 PM3: 2MHZ GENRATOR 660-002295-002 RF GENRATOR AC Power BoX 685-002302-002 VIOP BOARD 810-099175-013 60MHZ GENRATOR 660-034419-013 Flex 45 MATCH 853-040482-301 27MHZ GENRATOR 660-002294-100 DC POWER SUPPLY 28V HUB 660-035920-001 LAM CPU Board 605-048878-001 DC power supply 660-041927-001 Anafaze Board 778-900046-403 TGV Drive Board 676-900870-001 TGV motor 676-305221-001 VME Board 810-707183-011 TCP Cool Plate 715-017891-003 He controller 797-800733-001 TMP CONTROLLER 3620-00756OEMモデルの説明
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