DES-AIDIO
概要(Overview)
Plasma Systems: DES-AIDIO helical wave asher (400 KHz), high stirip rate (1.5 to 2.0 micron per minute), single wafer.
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検査、保証、鑑定、ロジスティクス
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Plasma Systems: DES-AIDIO helical wave asher (400 KHz), high stirip rate (1.5 to 2.0 micron per minute), single wafer.
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