説明
説明なし構成
SPTS fxP ICP 4PM Etcher fxP Transport Module Omega c2L ICP Module (AIN & GaN) Omega c2L ICP Module (SiNx) Omega fxP Rapier Module (Bosch) Omega c2L Synapse Module (Si, SiO2 & Mo)OEMモデルの説明
Omega fxP is a cluster system supporting up to 6 plasma etch (ICP, DRIE, and/or Synapse) chambers. The fxP is an 8-sided cluster system supporting up to 6 process modules for the ultimate in throughput, availability and productivity.ドキュメント
ドキュメントなし
KLA / SPTS
OMEGA fxP
検証済み
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証: 26日前
主なアイテムの詳細
状態:
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID:
116213
ウェーハサイズ:
不明
ヴィンテージ:
2019
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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OMEGA fxP
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不明
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SPTS fxP ICP 4PM Etcher fxP Transport Module Omega c2L ICP Module (AIN & GaN) Omega c2L ICP Module (SiNx) Omega fxP Rapier Module (Bosch) Omega c2L Synapse Module (Si, SiO2 & Mo)OEMモデルの説明
Omega fxP is a cluster system supporting up to 6 plasma etch (ICP, DRIE, and/or Synapse) chambers. The fxP is an 8-sided cluster system supporting up to 6 process modules for the ultimate in throughput, availability and productivity.ドキュメント
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