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PRIMAXX fxP

カテゴリ
Dry / Plasma Etch
概要(Overview)

Primaxx fxP - a cluster system supporting up to 6 Monarch 25 or Monarch 300 vapor HF etch chambers. The fxP is an 8-sided cluster system supporting up to 6 process modules for the ultimate in throughput, availability and productivity.

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検査、保証、鑑定、ロジスティクス

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