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XACTIX fxP

カテゴリ
Dry / Plasma Etch
概要(Overview)

Xactix fxP - a cluster system supporting up to 6 CVE XeF2 etch chambers. The fxP is an 8-sided cluster system supporting up to 6 process modules for the ultimate in throughput, availability and productivity.

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サービス

検査、保証、鑑定、ロジスティクス

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