説明
説明なし構成
Software Version V5.80c CIM E84, SECS/GEM, GEM300, Interface A Process ETC_GatePatterning Main System TACTRUS NCCP 1 OK Handler System Vacuum Transfer Module 1 OK Handler System Loader Module 1 OK Handler System Loadlock Module 1 OK Factory Interface FOUP 5 OK RF Generators 4 OK AC Power Rack 1 OK Pump Rack 1 OK Pumps 4 OK Chillers 4 OKOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
TEL / TOKYO ELECTRON
TACTRUS NCCP
検証済み
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
106074
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2010
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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不明
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Software Version V5.80c CIM E84, SECS/GEM, GEM300, Interface A Process ETC_GatePatterning Main System TACTRUS NCCP 1 OK Handler System Vacuum Transfer Module 1 OK Handler System Loader Module 1 OK Handler System Loadlock Module 1 OK Factory Interface FOUP 5 OK RF Generators 4 OK AC Power Rack 1 OK Pump Rack 1 OK Pumps 4 OK Chillers 4 OKOEMモデルの説明
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