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AW-2001R

カテゴリ
Etch/Asher
概要(Overview)

The AW-2001R single-wafer Etcher is an automated tool designed as a flexible downstream Microwave system for high-volume wafer fabrication. AW-2001R is in direct response to manufacturer’s concerns for wafer damage, uniformity, uptime, reliability and production-proven technology.

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検査、保証、鑑定、ロジスティクス

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