説明
ETCH構成
2300 e4 with 3 Load Port and 4 Kiyo FT chambers Software: 1.8.4-SP9-CE006c-Patch-02-CF-Etch_2018-12-07-141128 • 4 Kiyo FT chambers • 3 Wafer Load port module (TDK) • Transfer Chamber • ATM robot with one end effector (Brooks) • VTM robot with dual end effectors (Brooks Mag7) • 2 wafer slot Airlock Vacuum system • N2/Purge Vent • TM control software • Communication Protocol (RS232, LON)OEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
LAM RESEARCH CORPORATION
2300
検証済み
カテゴリ
Etch/Asher
最終検証： 30日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
101693
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
不明
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Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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不明
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2300 e4 with 3 Load Port and 4 Kiyo FT chambers Software: 1.8.4-SP9-CE006c-Patch-02-CF-Etch_2018-12-07-141128 • 4 Kiyo FT chambers • 3 Wafer Load port module (TDK) • Transfer Chamber • ATM robot with one end effector (Brooks) • VTM robot with dual end effectors (Brooks Mag7) • 2 wafer slot Airlock Vacuum system • N2/Purge Vent • TM control software • Communication Protocol (RS232, LON)OEMモデルの説明
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