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市場 > Etch/Asher > KLA / SPTS > VERSALIS fxP

VERSALIS fxP

カテゴリ
Etch/Asher
概要(Overview)

Versalis fxP - a cluster system supporting a mixture of etch and deposition process chambers (up to 6 modules in total), useful for R&D or pilot production, saving both capital expenditure and cleanroom footprint. The fxP is an 8-sided cluster system supporting up to 6 process modules for the ultimate in throughput, availability and productivity.

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