UA-5200A
カテゴリ
Ashers概要（Overview）
UV/ozone asher, batch, 30 wafers per pass (2 chambers), 55 wafers per hour, 8-inch capable
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2
サービス
検査、保証、鑑定、ロジスティクス
UV/ozone asher, batch, 30 wafers per pass (2 chambers), 55 wafers per hour, 8-inch capable
2
検査、保証、鑑定、ロジスティクス
