DES-AIDIO
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Etch/Asher概要（Overview）
Plasma Systems: DES-AIDIO helical wave asher (400 KHz), high stirip rate (1.5 to 2.0 micron per minute), single wafer.
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Plasma Systems: DES-AIDIO helical wave asher (400 KHz), high stirip rate (1.5 to 2.0 micron per minute), single wafer.
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