C30PMVRT
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Gas Cabinets概要（Overview）
-Electrical requirements (ACV×φ×Hz) 200×3×50 220×3×60 -Power (KW)(50/60Hz) 5.2/6.5 -Cooling method Water flow rate (L/min)(20℃) 5.5 -Weight (Kg) 121 -Adsober replacement cycle 24,000 hours **Cooling water inlet/outlet Rc 3/8 *C30PMVRT run multiple cryopumps.
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検査、保証、鑑定、ロジスティクス
