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PCS

カテゴリ
Gas Scrubbers
概要(Overview)

The Pyrophoric Conditioning System (PCS) is a compact, cost-effective unit using the 'self-oxidation' principle to safely remove silane from PECVD and LPCVD process exhausts to below flammable limits

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サービス

検査、保証、鑑定、ロジスティクス

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