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市場 > Wafer Handling > AITEC > AR-S300R-300

AR-S300R-300

カテゴリ
Wafer Handling
概要(Overview)

Wafer Atmosphere Robots Type: Revers Single Arm Wafer Size: ~300mm A(B)-axis (mm): 510 θ-axis(°): 330 Z-axis (mm): 300 Transport weight (kg): 3

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