AR-WV300
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Wafer Handling概要(Overview)
Wafer vacuum robots Type: Double Arm Wafer Size: ~300mm A(B)-axis (mm): 545 θ-axis(°): ∞ Z-axis (mm): 50 Transport weight (kg): 2
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検査、保証、鑑定、ロジスティクス
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Wafer vacuum robots Type: Double Arm Wafer Size: ~300mm A(B)-axis (mm): 545 θ-axis(°): ∞ Z-axis (mm): 50 Transport weight (kg): 2
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