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xR80S

カテゴリ
High Current
概要(Overview)

The xR80S is a highly productive and compact platform for high current implant processes up to 80keV. It stands out for its flexibility, as it can be field-converted to the xR LEAP ultra-low energy implanter or the xR120S extended energy range implanter. This makes it the most adaptable implant system on the market.

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