説明
Axcelis NV-GSD-LED High Energy Ion Implanter構成
See attachment for Ion Implant 23.11.08 Original 6 inch, converted to 8 inch OEM : EATON MODEL : NV-GSD HE PROCESS: HIGH ENERGY MOVING TYPE: DISK TYPE DRY PUMP : N/A CRYO PUMP : CTI ON BOARD 250F , CTI ON BOARD 10 , CTI ON BOARD 8 COMPRESSOR : CTI 9600 , CTI 9600 TMP (TURBO PUMP) : LYBOLD 75M CHILLER : AFFINITY RWA-012J-BE03CB , AFFINITY CWA-200L-MO15CBD GAS : ARGON , ARSINE ,PHOSPHNE OS : Unix SunOSOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
AXCELIS
NV GSD/HE
検証済み
カテゴリ
High Current
最終検証: 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態:
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID:
105373
ウェーハサイズ:
8"/200mm
ヴィンテージ:
1999
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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NV GSD/HE
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High Current
最終検証: 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態:
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID:
105373
ウェーハサイズ:
8"/200mm
ヴィンテージ:
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