NV 10 160
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High Current概要（Overview）
The Eaton Nova NV-10-160 is a high energy Ion Implanter. Bare silicon wafers were implanted in an Eaton Nova 10-160 ion implanter at 60 keV energy with doses in the range 1-5∙1015cm-2 and annealed at 600°C for 20 min.
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検査、保証、鑑定、ロジスティクス
