PAS 5500/150
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I-Line概要（Overview）
Has a throughput of more than 110 wafers per hour for 150-mm (six-inch) substrates and more than 80 wafers per hour for 200-mm (8-inch) substrates.
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検査、保証、鑑定、ロジスティクス
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Has a throughput of more than 110 wafers per hour for 150-mm (six-inch) substrates and more than 80 wafers per hour for 200-mm (8-inch) substrates.
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