PURION XE
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Ion Implantation概要(Overview)
Purion XE, high energy system, combines Axcelis' production-proven RF Linac high energy, spot beam technology with the Purion platform.
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検査、保証、鑑定、ロジスティクス
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Purion XE, high energy system, combines Axcelis' production-proven RF Linac high energy, spot beam technology with the Purion platform.
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