DSC300 Gen3
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Lithography概要（Overview）
The DSC300 Gen3 Scanner delivers 300 mm wafer throughput of > 90 wph at 400 mJ/cm2 and > 80 wph at 1000 mJ/cm2.
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検査、保証、鑑定、ロジスティクス
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The DSC300 Gen3 Scanner delivers 300 mm wafer throughput of > 90 wph at 400 mJ/cm2 and > 80 wph at 1000 mJ/cm2.
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