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市場 > Photolithography > KLA > PROLITH X5

PROLITH X5

カテゴリ
Photolithography
概要(Overview)

PROLITH X5 provides simulation capability for all lithography technologies with particular emphasis on 193nm immersion lithography, spacer-based Self-Aligned Double Patterning ("SADP") and thick resist lithography for 3-D interconnects and MEMS manufacturing.

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