FX-55S
カテゴリ
Lithography概要（Overview）
Resolution (L/S) (switchable): ≦ 3 µm (i-line), ≦ 3.5 µm (g+h+i-line) Projection magnification: 1:1 Overlay: ≦ ±0.6 µm (3σ) Maximum plate size: 1,300 × 1,300 mm Takt time 59 sec./plate Conditions: 4 scans, g+h+i-line, 30 mJ/cm2
現在の掲載品
0
サービス
検査、保証、鑑定、ロジスティクス
トップ掲載リスト
- 製品が見つかりません