FX-83S
カテゴリ
Lithography概要（Overview）
Resolution (L/S) (switchable): 3.5 µm (g+h+i-line), 3 µm (i-line) (option) Projection magnification: 1:1 Overlay: ≦ 0.6 µm Maximum plate size: 2,200 × 2,500 mm Takt time: 72 sec./plate Conditions: 4 scans, g+h+i-line, 30 mJ/cm2
現在の掲載品
0
サービス
検査、保証、鑑定、ロジスティクス
トップ掲載リスト
- 製品が見つかりません