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Dose Monitoring

構成

Dose Monitoring

OEMモデルの説明

SEMILAB PMR-3000 is an in-line monitoring unit for ion implantation monitoring use prior to the thermal annealing process step.

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ドキュメントなし

SEMILAB

PMR-3000

検証済み

カテゴリ

Metrology

最終検証： 60日以上前

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状態：

Used

稼働ステータス:

不明

製品ID：

69108

ウェーハサイズ：

12"/300mm

ヴィンテージ：

不明

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