説明
説明なし構成
( 55 x2") Configuration Process GaN Batch size 2" * 55ea/ 4" * 13ea/ 6" * 6ea Electricity 208/ 120V AC,3 Phase Heater Voltage 380V AC,3 Phase Wiring 4 wire + Ground Temperature Monitor ARGUS x1 Hydride Lines NH3_1 / NH3_2 / SiH4 MO Source TMGa-1,TMGa-3,TEGa2, Cp2Mg-1, Cp2Mg-2, TMIn-1, TMAl-1 (7) Bath 2 sets of RE235 RAUDA bath 4 sets of NOAH Precision MFC Type Horiba Z500 Pump Scroll pump*1 Chiller AffinityOEMモデルの説明
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AIXTRON
CRIUS II
検証済み
カテゴリ
MOCVD
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
46625
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2010
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Refurbishment Services
Available
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CRIUS II
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MOCVD
最終検証： 60日以上前
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不明
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( 55 x2") Configuration Process GaN Batch size 2" * 55ea/ 4" * 13ea/ 6" * 6ea Electricity 208/ 120V AC,3 Phase Heater Voltage 380V AC,3 Phase Wiring 4 wire + Ground Temperature Monitor ARGUS x1 Hydride Lines NH3_1 / NH3_2 / SiH4 MO Source TMGa-1,TMGa-3,TEGa2, Cp2Mg-1, Cp2Mg-2, TMIn-1, TMAl-1 (7) Bath 2 sets of RE235 RAUDA bath 4 sets of NOAH Precision MFC Type Horiba Z500 Pump Scroll pump*1 Chiller AffinityOEMモデルの説明
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