説明
MOCVD構成
- Five 8" wafers - Penta Injector - EpiTT Version 1 - Single filter exhaust CT500 - TMGax2, TMAlx2, Cp2Mg - H2, N2, Nh3,Cl2 (no mixer) that was external of the system - Aixact version 7.1.2.8 - Ebara ESA80 process pump - Two scroll pumps: for the glove box (1) and the Antechamber (1) - Horiba MFC's - Process module 208VAC, RF Generator 480VAC - USA Voltage - No transfer modulesOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
AIXTRON
AIX G5+
検証済み
カテゴリ
MOCVD
最終検証： 24日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
96865
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2013
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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不明
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- Five 8" wafers - Penta Injector - EpiTT Version 1 - Single filter exhaust CT500 - TMGax2, TMAlx2, Cp2Mg - H2, N2, Nh3,Cl2 (no mixer) that was external of the system - Aixact version 7.1.2.8 - Ebara ESA80 process pump - Two scroll pumps: for the glove box (1) and the Antechamber (1) - Horiba MFC's - Process module 208VAC, RF Generator 480VAC - USA Voltage - No transfer modulesOEMモデルの説明
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