説明
説明なし構成
5x8" (five eight inch wafers) configuration Penta Injector, Full Penta Panel EpiTT Version 1 Single filter exhaust CT500 TMGax2, TMAlx2, Cp2Mg H2, N2, Nh3, Cl2 (no mixer) that was external of the system Aixact version 7.1.2.8 Process Pump Ebara ESA80 Two scroll pumps one for glove box the other for the Antechamber Horiba MFC's Line heating on MO dopant line from Bubbler to Penta PanelOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
AIXTRON
AIX G5+
検証済み
カテゴリ
MOCVD
最終検証： 30日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
Installed / Running
製品ID：
98810
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2013
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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5x8" (five eight inch wafers) configuration Penta Injector, Full Penta Panel EpiTT Version 1 Single filter exhaust CT500 TMGax2, TMAlx2, Cp2Mg H2, N2, Nh3, Cl2 (no mixer) that was external of the system Aixact version 7.1.2.8 Process Pump Ebara ESA80 Two scroll pumps one for glove box the other for the Antechamber Horiba MFC's Line heating on MO dopant line from Bubbler to Penta PanelOEMモデルの説明
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