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CALIPER INSIGHT

カテゴリ
Overlay
概要(Overview)

Following the success of the Caliper élan and Caliper Ultra systems supporting the 90nm, 65nm and 45nm technology nodes, the Caliper InSight takes the next step forward in platform and optical design to improve system precision and throughput for overlay metrology solutions down to the 32nm and 22nm technology nodes.

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