15K PECVD
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PECVD概要（Overview）
AKT-15K PECVD(1,200mm x 1,300mm) PECVD systems deposit doped and undopedamorphous silicon, silicon nitride, silicon oxide and oxynitride PECVD systems deposit films on glass substrates more than 70 times larger than 300mm wafers
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サービス
検査、保証、鑑定、ロジスティクス
