説明
Ashable Hard Mask CVD構成
Software Version: 6.07B93_2.30B36 CIM: E84, SECS/GEM, GEM300, Interface A Process: TFM_Ashable HM Amorphous Carbon System Type Description Quantity Status Main System: Vector Express AHMxT System 1 OK Handler System: FOUP RF ID Reader 2 OK Factory Interface: FOUP 3 OK Options System: Pressure Display Package 1 OK Options System: Ionizer Kit 1 OK Options System: Heated Process Manometer 1 OK Options System: Secondary Isolation Kit 1 OK Options System: EBR Capable Loadlock 1 OK Options System: High Temperature Process Kit 1 OKOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
LAM RESEARCH / NOVELLUS
VECTOR EXPRESS AHM
検証済み
カテゴリ
PECVD
最終検証： 27日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
92332
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2011
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Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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不明
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Ashable Hard Mask CVD構成
Software Version: 6.07B93_2.30B36 CIM: E84, SECS/GEM, GEM300, Interface A Process: TFM_Ashable HM Amorphous Carbon System Type Description Quantity Status Main System: Vector Express AHMxT System 1 OK Handler System: FOUP RF ID Reader 2 OK Factory Interface: FOUP 3 OK Options System: Pressure Display Package 1 OK Options System: Ionizer Kit 1 OK Options System: Heated Process Manometer 1 OK Options System: Secondary Isolation Kit 1 OK Options System: EBR Capable Loadlock 1 OK Options System: High Temperature Process Kit 1 OKOEMモデルの説明
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