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OXFORD PLASMALAB 133 ICP 380
    説明
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    構成
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    OEMモデルの説明
    The Oxford PLASMALAB 133 ICP 380 is a type of Ion Couple Plasma Etching System that features a 380 ICP Source. This system is designed with a manual load lock and a ceramic clamp style. It comes with an Alcatel Turbo pump and controller, a VAT Gate Valve and PM5 controller, an Endpoint Detector, and an RF power supply with match work and tuner. Additionally, it has eight Mass Flow Controllers.
    ドキュメント

    ドキュメントなし

    OXFORD

    PLASMALAB 133 ICP 380

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    検証済み

    カテゴリ
    PECVD

    最終検証: 30日以上前

    主なアイテムの詳細

    状態:

    Used


    稼働ステータス:

    不明


    製品ID:

    89251


    ウェーハサイズ:

    不明


    ヴィンテージ:

    不明

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    Transaction Insured by Moov
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    Refurbishment Services
    Available
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    OXFORD PLASMALAB 133 ICP 380

    OXFORD

    PLASMALAB 133 ICP 380

    PECVD
    ヴィンテージ: 2008状態: 中古
    最終確認60日以上前

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    PLASMALAB 133 ICP 380

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    The Oxford PLASMALAB 133 ICP 380 is a type of Ion Couple Plasma Etching System that features a 380 ICP Source. This system is designed with a manual load lock and a ceramic clamp style. It comes with an Alcatel Turbo pump and controller, a VAT Gate Valve and PM5 controller, an Endpoint Detector, and an RF power supply with match work and tuner. Additionally, it has eight Mass Flow Controllers.
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    PLASMALAB 133 ICP 380

    PECVDヴィンテージ: 2008状態: 中古最終検証: 60日以上前
    OXFORD PLASMALAB 133 ICP 380

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    PLASMALAB 133 ICP 380

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    OXFORD PLASMALAB 133 ICP 380

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    PECVDヴィンテージ: 0状態: 中古最終検証: 60日以上前