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構成なしOEMモデルの説明
The PECVD process modules are specifically designed to produce excellent uniformity and high rate films, with control of film properties such as refractive index, stress, electrical characteristics and wet chemical etch rate.ドキュメント
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OXFORD
PLASMAPRO 100 PECVD
検証済み
カテゴリ
PECVD
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
95827
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
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PLASMAPRO 100 PECVD
検証済み
カテゴリ
PECVD
最終検証： 19日前
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不明
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不明
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The PECVD process modules are specifically designed to produce excellent uniformity and high rate films, with control of film properties such as refractive index, stress, electrical characteristics and wet chemical etch rate.ドキュメント
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