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説明
12-inch titanium/titanium nitride chemical vapor deposition machine構成
TEL/ Trias SFD-TiN & SFD-HP TiOEMモデルの説明
Triase+™ SFD™ TiN has been widely adopted by using SFD™ technology that has both merits of excellent step coverage of ALD and high productivity of CVD.ドキュメント
カテゴリ
PECVD
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
92174
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2010
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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TEL / TOKYO ELECTRON
TRIASe+ SFD TiN
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PECVD
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
92174
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2010
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Available