説明
説明なし構成
ICP system complete with: -robotic wafer transfer system -computer controls -thermal transfer module for substrate clamping -closed loop pressure control -RF high freq. inductive coupled plasma source for high density plasma creation -Installed pumps and MFC control unitsOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
PLASMATHERM
SLR 770
検証済み
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
14081
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
PLASMATHERM
SLR 770
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
14081
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
説明なし構成
ICP system complete with: -robotic wafer transfer system -computer controls -thermal transfer module for substrate clamping -closed loop pressure control -RF high freq. inductive coupled plasma source for high density plasma creation -Installed pumps and MFC control unitsOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし