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市場 > Pumps / Compressor > CTI CRYOGENICS > ON-BOARD IS 320FE

ON-BOARD IS 320FE

カテゴリ
Pumps / Compressor
概要(Overview)

The On-Board® IS 320FX cryopump is designed to deliver the highest hydrogen vacuum pumping speed and capacity possible for improved product yield and tool throughput. Building upon Edwards’ extensive cryogenic pump design expertise, this cryopump outperforms all other comparably sized pumps while meeting rigorous safety guidelines.

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