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市場 > PECVD > KLA / SPTS > DELTA 201

DELTA 201

カテゴリ
PECVD
概要(Overview)

SPTS’ Delta PECVD systems are used for a wide range of applications within MEMS, compound semiconductors, and advanced packaging industries, particularly in applications where a low processing temperature is required. They are also used in the advanced packaging, RF, power, photonics and MEMS markets.

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